無塵烤箱用于IC生產過程中極為重要的光刻工藝中預烘烤(軟烘)，脫水烘烤，涂膠后的堅膜烘烤(硬烘)；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、OLED、醫藥、實驗室等生產及科研部門。
 

　　清潔烤箱，無塵烤箱原理
 

　　無塵烤箱配備HEPA過濾器，以保持爐腔無顆粒。 HEPA過濾器(高效微粒捕獲)現在是電子和平板顯示器潔凈室組裝的主要過濾系統，或任何需要減少或去除亞微米微粒的應用。 HEPA過濾器具有隨機定位的微玻璃纖維的深床，其中與平均纖維直徑和自由路徑橫截面的有效孔相比，總床深度(過濾器的厚度)非常大。
 

　　通過HEPA過濾器的氣體必須流過的通道不是直的，而是非常曲折的。隨著顆粒對纖維的影響并粘附在纖維上，通道變得更小并且過濾器的效率提高。無塵烤箱以及LCD行業的特殊輸送爐中使用這些過濾器。為了保護過濾器不會在烤箱中過熱，實施了用于過濾器的特殊保護系統。 HEPA過濾器在正常條件下保持其在烤箱中的效率一至數年。 HEPA不需要任何清潔或維護來保持這種效率。無塵烤箱用于半導體行業。